강의계획서
| 교과목코드 | JEE01370 | 교과목명 | 반도체화학공학 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 화학공학과 | 교수 | 이현호 |
| 교수소속 | 화학공학과 | 이수학년 | 4학년 |
| 과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
| 이메일 | hyunho@mju.ac.kr | 전화번호 | 031-330-6392 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 반도체 물질에 대한 이해 (I) |
| 2주차 | 반도체 물질에 대한 이해 (II) |
| 3주차 | Oxidation and Diffusion (I) |
| 4주차 | Oxidation and Diffusion (II) |
| 5주차 | Physical Deposition (I) |
| 6주차 | Chemical Deposition (I) |
| 7주차 | Chemical Deposition (II) |
| 8주차 | 중간고사 |
| 9주차 | Photolithography (I) |
| 10주차 | Photolithography (II) |
| 11주차 | Direct Patterning |
| 12주차 | Chemical Etching (I) |
| 13주차 | Chemical Etching (II) |
| 14주차 | Ion Implantation & CMP |
| 15주차 | 유기 반도체에 대한 이해 |
| 16주차 |