연구업적
연구수탁 (최근 3년간의 실적)
년도 | 제목 |
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2024-03-01 | [RCMS]반도체특성화대학지원사업(4-2차년도) |
2024-03-01 | [RCMS]산학협력 프로젝트 기반 반도체소부장 실무인재양성(3-3차년도) |
2024-03-01 | [RCMS]차세대반도체소재부품장비후공정 전문인력양성(5-1차년도) |
2024-01-01 | [RCMS]디스플레이 TFT 보호막 성막을 위한 기상증착공정용 GWP 150 이하의 대체가스 및 공정 기술 개발(8-2차년도) |
2024-01-01 | [RCMS]저 GWP 가스용 원격플라즈마 가스분해 공급 장치에 적용 가능한 GWP 1,000이하 증착 챔버 세정 가스 및 성능 고도화 기술 개발(4-3차년도) |
2023-08-24 | [RCMS]반도체특성화대학지원사업(4-1차년도) |
2023-07-25 | [RCMS]디스플레이 TFT 보호막 성막을 위한 기상증착공정용 GWP 150 이하의 대체가스 및 공정 기술 개발(8-1차년도) |
2023-03-01 | [RCMS]산학협력 프로젝트 기반 반도체소부장 실무인재양성(3-2차년도) |
2022-10-13 | 첨단분야 특성화대학 지원 정책연구 |
2022-07-11 | [RCMS]산학협력 프로젝트 기반 반도체소부장 실무인재양성(3-1차년도) |